1、 半導體電子潔凈車間裝修建筑裝飾工程必須與各專業工種間制定嚴格的施工程序，一般依次為： 留洞打底， 各專業安裝， 內門窗安裝， 修補洞口及周邊， 基層打底， 飾面抹灰和罩面板工程， 嵌縫處理， 油漆刷漿工程和裱糊工程。

 

2、 應保護已完成的裝飾工程表面， 不得因撞擊、 敲打、 踩踏， 多水作業等造成板材凹陷， 暗裂和表面裝飾的污染。

 

3、 對已安裝高效過濾器的房間， 不得進行有粉塵的作業。

 

4、 塑料板材和卷材面層鋪貼前應預先按規格大小， 厚薄分類， 板材或卷材與地面之間應滿涂粘接劑， 表面趕平， 不得漏涂或殘存空氣。

 

5、在半導體電子潔凈車間裝修建筑裝飾施工過程中， 必須隨時清掃灰塵， 對隱蔽空間(如吊頂和夾墻內部等) ， 還應做好清掃記錄。

 

6、 密封膠嵌固前， 應將基槽內的雜質， 油污剔除干凈， 并保持表面干燥。

 

7、 半導體電子潔凈車間臨時設置的設備入口不用時應封閉， 防止塵土雜物進入。

 

8、 潔凈廠房施工現場應保證良好的通風和照明， 對于改建工程， 應查明和切斷原有電源及易燃，易爆和有毒氣體管線后方可施工， 對工藝生產過程中使用的腐蝕性液體應有安全防護措施。