在1500℃時，二氧化硅保護層達到一定的厚度，從而使硅碳棒的氧化速度變得極為緩慢，趨于穩定。如果繼續升溫至1627℃以上時，則二氧化硅保護薄膜受到破壞，氧化速度顯著增加，造成硅碳棒過早損壞。 硅碳棒在使用過程中雖然氧化極為緩慢，但長時間運行仍然會導致電阻值增大。這種現象叫做“老化”。為了降低“老化”速度，可在制造過程中以獨特的技術，在發熱部的表面涂上保護層，能明顯的增強硅碳棒的抗氧化性能，延長使用壽命