六氟化硫為無色、無味、不燃燒，無電抗性的、相對無毒、僅有窒息性的液化氣體。液化瓶裝氣體，壓力為其蒸氣壓(202.78 kgf/cm2 @21.1°C)。六氟化硫以其良好的絕緣性能和滅弧性能，被廣泛應用于電器工業，如：斷路器、高壓開關、高壓變壓器、氣封閉組合電容器、高壓傳輸線、互感器等。SF6還因其化學惰性、無毒 、不燃及無腐蝕性，還被廣泛應用于金屬冶煉（如鎂合金熔化爐保護氣體）、航空 航天、醫療（Ｘ光機、激光機）、氣象（示蹤分析）、化工（高級汽車輪胎、新型滅火器）等。電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，被大量應用于微電子技術領域。隨著當今科技的發展，SF6涉及的領域不斷擴展，被越來越多的基礎領域和科技領域廣泛應用，在制冷行業，用六氟化硫做制冷劑，致冷范圍可在-45℃～0℃之間。