品牌：日本UNION

厚度測量顯微鏡    原理：

THS是一款非接觸式的光學測量系統。它采用光學對焦檢測原理。THS采用上下兩套光學系統，各配置單獨的光學對焦系統，用于觀察工件的位置和形狀，測量厚度可達10mm。THS光學系統，操作簡單，而且，裂像會清晰的顯示在顯示器中。 

THS厚度測量原理是基于UNION獨特的光學測量原理。THS有上下兩套光學系統，每個系統都有精密的對焦裝置，對焦裝置內有一個內置的裂像。 

厚度測量顯微鏡    特點：

即使工作臺上沒有放置工件，顯示器上也會顯示裂像圖像，裂像圖像可通過上下光學系統簡單的辨別。 

此設備通過上下兩個鏡頭對零件兩個面進行聚焦，以下鏡頭為基準，上鏡頭進行聚焦測量，從而測量出被測零件的厚度。不但精度可達1微米，而且采用Union光學株式會社專有的裂像輔助對焦系統可以最大程度的減少人為誤差從而達到精準測量。此設備最大測厚尺寸為25mm。

厚度測量顯微鏡    測量步驟

A、先將上下兩鏡頭在不加任何測量件的情況下同時聚焦，此時兩個清晰的裂像標記出現在顯示器上。然后，將Z軸數字計數器置零。（如圖） 

B、將樣品放置在顯微鏡工作臺上, 然后移動下鏡頭聚焦于樣品的底部。

C、當下鏡頭聚焦到測量零件表面后，再移動上鏡頭的調焦旋鈕。當裂像指示器清楚的聚焦在測量樣品表面時，此時讀數器上顯示的數值即為所測樣品的厚度 

厚度測量顯微鏡    應用行業：

測量范圍為0~10mm，因此應用范圍廣泛。

開罐器 

可以量測開罐器的各個部分(score residual, etc.) 

測量蓋子凹槽的深度(score residual, etc.) 

Wafer減薄行業厚度測量、電池行業防爆彈片厚度測量等等

Union厚度測量顯微鏡與激光測量的區別

THS光學測量，不僅可以測量，還可以觀察測量點的表面情況

激光測量，僅可以測量

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