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公司基本資料信息
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成分 | 高純氦氣 | 單位 | |
氦氣 |
≥
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99.999% | %V |
氖氣 |
≤
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4 | ppmv |
氫氣 |
≤
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1 | ppmv |
氧氣 |
≤
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1 | ppmv |
氮氣 |
≤
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2 | ppmv |
一氧化碳 |
≤
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0.5 | ppmv |
二氧化碳 |
≤
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0.5 | ppmv |
甲烷 |
≤
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0.5 | ppmv |
水份 |
≤
|
3 | ppmv |