一、產品應用
1.低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2.半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3.除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；
4.在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
5.用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。
二、分類：
干式真空泵主要有下列幾種形式：
1）干式螺桿真空泵
2）無油往復真空泵
3）爪式真空泵
4）無油渦旋真空泵
三、聯系方式
聯系人：唐經理
手機：186 2617 1155
座機：0512-5792 6008
傳真：0512-5792 6926
郵箱：tangxy00007@126.com
網址：http://www.ksyxmy.com
地址：江蘇省昆山玉山鎮楓景苑98號樓604室
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